光绘菲林

光绘菲林

大尺寸光罩

名称:大尺寸光罩
材料:Soda Lime Glass、Quartz
规格:1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
应用:PCB行业、平板显示行业

详情介绍

主要应用领域:
  主要应用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板显示行业;HDI、FPC等PCB行业。
Applications:
  Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry;HDI、FPC and other PCB industry.
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铬版精度 Chrome Mask SpecificationsStandard Size:430mmx430mm
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精度 / 级别
Items / Class
最高精度
Grade 1
高精度
Grade 2
中精度
Grade 3
一般精度
Grade 4
最小线宽/线缝
Min.Line/Space Width
1.0μm/1.0μm 5μm/5μm 10μm/10μm
20μm/20μm
线条精度
CD Control
±0.15μm (QZ)
±0.5μm
±1.0μm
±2.0μm
总长精度
Total Pitch Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±2.0μm
图形位置精度
Registration Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±3.0μm
套合精度
Overlay Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±3.0μm
垂直精度
Orthogonality
±0.75μrad
±2.0μrad
±3.0μrad
±4.0μrad
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铬版材料 Substrate(Photomask blank phate)
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?材料 Material Soda Lime Glass、Quartz
?最大尺寸Max. Size 1100mm×1100mm
?常规尺寸Normal Size
406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm,
609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
?厚度 Thickness ?
2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm
5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ)
?铬膜 Film Type Low Reflectance Chrome
?光学密度Optical Density(λ=450nm) Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3
?反射率Reflectivity(λ=436nm) Between Plates10±5% In Plate±2%
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